La superficie del objeto es bombardeada por electrones que se mueven a alta velocidad bajo la acción de un campo eléctrico, lo que hace que se calienta. El componente principal para el calentamiento del haz de electrones es el generador de haz de electrones, también conocido como pistola de electrones. La pistola de electrones se compone principalmente de un cátodo, un electrodo de enfoque, un ánodo, una lente electromagnética y una bobina de deflexión. El ánodo está conectado a tierra y el cátodo está conectado a la posición alta negativa. El haz enfocado generalmente tiene el mismo potencial que el cátodo, y se forma un campo eléctrico acelerado entre el cátodo y el ánodo. Los electrones emitidos por el cátodo se aceleran a una alta velocidad bajo la acción de un campo eléctrico acelerado, enfocados por una lente electromagnética, y luego controlados por una bobina de deflexión, de modo que el haz de electrones se dirige hacia el objeto para calentarse en una cierta dirección.
Las ventajas del calentamiento del haz de electrones son: ① Control el valor de corriente es decir, del haz de electrones, que puede cambiar fácil y rápidamente la potencia de calefacción; ② La lente electromagnética se puede usar para cambiar libremente la parte calentada o ajustar libremente el área de la parte del bombardeo del haz de electrones; ③ puede aumentar la densidad de potencia para que el material en el punto bombardeado se evapore instantáneamente.